Ненашев, Р. Н.
    Основные закономерности получения растворов для формирования нанопористых полиметилсилсесквиоксановых пленок золь-гель методом [Текст] / Р. Н. Ненашев, Н. М. Котова // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. - 2016. - Т. 7, № 1. - С. 27-35. - Библиогр.: c. 34 . - ISSN 2225-0999
УДК
ББК 31.232 + 22.379 + 22.365
Рубрики: Энергетика
   Проводниковые материалы и изделия

   Физика

   Физика полупроводников и диэлектриков

   Газы и жидкости

Кл.слова (ненормированные):
алкоксид кремния -- гидролиз конденсации -- гидролиз метилтриметоксисилана -- диэлектрики -- диэлектрическая проницаемость эпсилон -- золь-гель методы -- конденсация метилтриметоксисилана -- нанопористые пленки -- нанопоры -- пленкообразование -- пленкообразующие растворы -- полиметилсилсесквиоксановые пленки -- пористые наноструктуры -- пороген -- преломления -- тонкие пленки -- эпсилон-метод темплатного синтеза
Аннотация: Рассмотрены закономерности синтеза полиметилсилсесквиоксановых пленкообразующих растворов путем проведения реакций гидролиза и конденсации метилтриметоксисилана. Показано, что данные растворы могут являться матрицей при формировании нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью эпсилон-методом темплатного синтеза.


Доп.точки доступа:
Котова, Н. М.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)