Яфаров, Р. К. Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении [Текст] / Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин // Физика твердого тела. - 2016. - Т. 58, вып. 2. - С. 350-353 : 3 рис. - Библиогр. в конце ст. (7 назв.) . - ISSN 0367-3294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): ионно-физическое травление -- кремний -- кристаллография в целом -- морфологическая неустойчивость -- неустойчивость поверхности -- травление кристаллов Аннотация: Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона. Доп.точки доступа: Шаныгин, В. Я. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |