Оcобенности фазовых превращений в системе Ni[V]-Pt-Si при ступенчатом стационарном отжиге [Текст] / А. М. Чапланов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2015. - Т. 79, № 11. - С. 1543-1546 : рис. - Библиогр.: c. 1546 (4 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): кремниевые пластины -- магнетронное распыление -- пленки Pt -- силициды никеля -- ступенчатый стационарный отжиг -- твердые растворы -- фазовые превращения -- электронография на отражение Аннотация: Методами электронографии "на отражение" исследовались особенности фазовых превращений в системе Ni[V]-Pt-Si при ступенчатом стационарном отжиге. На поверхность кремниевой пластины марки КЭФ-0. 5 с ориентацией (111) методом магнетронного распыления наносилась пленка Pt толщиной 0. 015-0. 02 мкм, а затем - пленка никеля, легированная ванадием толщиной 0. 08 мкм. Доп.точки доступа: Чапланов, А. М.; Маркевич, М. И.; Малышко, А. Н.; Щербакова, Е. Н.; Солодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Сарычев, О. Э. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |