Ляпин, А. Визуализация тонких структур – современные технологии [Текст] / А. Ляпин // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2015. - № 4. - С. 140-146 . - ISSN 1992-4178
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): визуализация -- визуальный контроль -- механические структуры -- микроскопия -- тонкие структуры -- электронные структуры Аннотация: О возможностях и особенностях различных широко используемых методов микроскопии для визуального контроля тонких электронных и механических структур, как в процессе производства, так и при отработке технологий, рассказывается в статье. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (1) Свободны: эн.ф. (1) |