Левицкий, М. Е. Акустическая эмиссия при сублимации микронного слоя нитрида галлия под воздействием излучения KrF-лазера [Текст] / М. Е. Левицкий, Н. Н. Бочкарев, В. Г. Соковиков // Известия РАН. Серия физическая. - 2015. - Т. 79, № 2. - С. 270-274. - Библиогр.: c. 274 (14 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура акустики Кл.слова (ненормированные): KrF-лазер -- акустическая эмиссия -- метод Laser Lift-off -- нитрид галлия -- технология LLO -- эффект лазерной абляции Аннотация: Исследована эффективность абляции слоя нитрида галлия при воздействии через слой сапфира импульсами KrF-лазера. Полученные зависимости эволюции акустической эмиссии при изменении плотности энергии лазерных импульсов имеют пороговый характер, что позволяет контролировать эффективность абляции и следить за качеством кристаллов нитрида галлия, отделяемых от сапфировой подложки. Доп.точки доступа: Бочкарев, Н. Н.; Соковиков, В. Г. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |