Болдырев, К. Н. Прибор для измерения концентрации легирующих примесей III и V групп в высокочистом кремнии методом длинноволновой спектроскопии [Текст] / К. Н. Болдырев, Н. Ю. Болдырев, Р. В. Кирилин // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 12. - С. 1727-1731. - Библиогр.: c. 1731 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Оптика в целом Кл.слова (ненормированные): высокочистый кремний -- длинноволновая спектроскопия -- исследование низкотемпературных спектров пропускания -- легирующие примеси -- электроактивные примеси Аннотация: Изготовлена опытная установка по анализу концентрации электроактивных примесей в высокочистом кремнии методом исследования низкотемпературных спектров пропускания с компенсацией донорно-акцепторных примесей. Показана применимость метода для исследования как высокочистых, так и легированных кремниевых пластин. Разработано программное обеспечение для автоматического расчета концентрации примесей. Доп.точки доступа: Болдырев, Н. Ю.; Кирилин, Р. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |