Рентгеновские деформации эпитаксильной пленки в случае произвольной ориентации границы раздела [Текст] / Е. М. Труханов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 9. - С. 1249-1252. - Библиогр.: c. 1252 (7 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура молекулярной физики Кл.слова (ненормированные): атомные плоскости -- границы раздела -- дифракционное отражение -- кривые дифракционного отражения -- методика определения рентгеновских деформаций -- ориентация границы раздела -- эпитаксильные пленки Аннотация: Для эпитаксиальной пленки, находящейся в однородном плосконапряженном состоянии и имеющей произвольную ориентацию границы раздела, развита методика определения рентгеновских деформаций эпсилон и эпсилон[||]. Их измерение выполнено на основе кривых дифракционного отражения, которые могут быть записаны как от одной, так и от двух различных наклонных атомных плоскостей. Исследована опытная структура GeSi/Si (111). Доп.точки доступа: Труханов, Е. М.; Ильин, А. С.; Колесников, А. В.; Лошкарев, И. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |