Структура наноразмерных пленок углерода и карбида кремния на кремнии, полученных магнетронным и ионно-лучевым распылением мишени [Текст] / И. К. Бейсембетов [и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. - 2012. - № 4. - С. 30-35 : табл., рис. - Библиогр.: c. 34 (19 назв. ) . - ISSN 2225-0999
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Электричество и магнетизм в целом Кл.слова (ненормированные): двухкомпонентные мишени -- ионно-лучевое распыление -- карбид кремния -- кремний -- магнетронное распыление -- наноразмерные пленки -- наноразмерные пленки карбида кремния -- наноразмерные пленки углерода -- пленки beta-SiC -- распыление мишеней -- углерод -- углеродные пленки Аннотация: Исследована структура наноразмерных алмазоподобных углеродных пленок, полученных на поверхности кремния методом магнетронного распыления графита и пленки beta-SiC, полученной путем синтеза при ионно-лучевом распылении двухкомпонентной мишени кремния и графита; проведено математическое моделирование, результаты которого согласуются с экспериментальными. Доп.точки доступа: Бейсембетов, И. К.; Нусупов, К. Х.; Бейсенханов, Н. Б.; Жариков, С. К.; Кенжалиев, Б. К.; Ахметов, Т. К.; Ивлев, Р. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |