Технологические особенности формирования катодных узлов автоэмиссионных и туннельных нано- и микроприборов [Текст] / Н. Н. Балан [и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. - 2012. - Т. 3, № 2. - С. 35-43 : рис. - Библиогр.: c. 42-43 . - ISSN 2225-0999
Рубрики: Полупроводниковые приборы Радиоэлектроника Кл.слова (ненормированные): автоэмиссионные микроприборы -- катодные узлы -- силицид платины -- термический отжиг -- туннельные микроприборы -- туннельные преобразователи -- туннельный ток -- электродные покрытия -- электронная эмиссия Аннотация: Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии, а также эмиттеров на основе наноструктурированных углеродных материалов. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий с использованием силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера. Доп.точки доступа: Балан, Н. Н.; Ивашов, Е. Н.; Лучников, П. А.; Невский, А. Б. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |