Многослойные зеркала La/B[4]C для спектральной области вблизи 6.7 нм [Текст] / М. М. Барышева [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2013. - Т. 77, № 1. - С. 29-32. - Библиогр.: с. 32 (5 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): барьерные слои -- коэффициенты отражения -- магнетронное распыление -- многослойные зеркала -- проекционная экстремально ультрафиолетовая литография -- спектральная селективность -- шероховатость поверхности Аннотация: Представлены результаты измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал La/B[4]C с барьерными слоями углерода и скандия. Показано, что большее отражение достигается при осаждении слоя углерода на карбид бора. Эффект достигается вследствие уменьшения поглощения в структуре и сокращения ширины переходных областей. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Зуев, С. Ю.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Стариков, С. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |