Отечественное оборудование для микро- и нанотехнологий и перспективы его развития [Текст] / В. А. Васин [и др.] // Справочник. Инженерный журнал. - 2013. - № 1. - С. 37-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв. ) . - ISSN 0203-347X
Рубрики: Машиностроение Общая технология машиностроения Кл.слова (ненормированные): микросистемная техника -- надежность -- нанообъекты -- нанотехнологии -- электронно-лучевые системы Аннотация: В статье рассмотрены вопросы создания и эксплуатации оборудования для производства и исследования объектов нанотехнологий. Доп.точки доступа: Васин, В. А.; Фатьянова, Н. Г.; Васичев, Б. Н.; Степанчиков, С. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |