Осаждение в СВЧ плазме и механическая обработка моно- и поликристаллических алмазных пленок [Текст] / Е. Е. Ашкинази [и др.] // Физика и химия обработки материалов. - 2013. - № 1. - С. 29-36 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Горное дело Общие вопросы горного дела Кл.слова (ненормированные): ХГФО-алмаз -- поликристаллические алмазы -- монокристаллы синтетических алмазов -- синтетические алмазы -- алмазы -- шлифовка алмазных пленок -- алмазные пленки -- полировка алмазных пленок -- СВЧ плазма -- синтетические алмазные монокристаллы -- алмазные монокристаллы -- наноступеньки Аннотация: Исследовано влияние механической полировки на поверхностный рельеф моно- и поликристаллических алмазных пленок, осажденных в СВЧ плазме, и синтетических алмазных монокристаллов. Измерены температура и коэффициент трения алмаза при различных режимах полировки на чугунном диске. После финишной обработки шероховатость поверхности монокристаллического алмаза составляет -0, 5 нм, а поликристаллического - 1-8 нм. Из-за разной скорости изнашивания различно ориентированных кристаллитов в поликристаллическом алмазе, на границе из раздела образуются наноступеньки. Доп.точки доступа: Ашкинази, Е. Е.; Заведеев, Е. В.; Большаков, А. П.; Ральченко, В. Г.; Рыжков, С. Г.; Польский, А. В.; Кузнецов, Н. И.; Шаронов, Г. В.; Ткач, В. Н.; Конов, В. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |