Осаждение металлических и нитридных покрытий на изделиях сложной геометрической формы [Текст] / С. Н. Григорьев [и др.] // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2012. - № 12. - С. 44-48 : 4 рис. - Библиогр.: с. 48 (16 назв. ) . - ISSN 1813-1336
Рубрики: Физика--Россия Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): распыление -- покрытия -- осаждение -- нитридные покрытия -- ионно-плазменная обработка -- быстрые молекулы Аннотация: Показано, что для осаждения покрытий на диэлектрики используется источник атомов металла в смеси с быстрыми молекулами газа, образованными при перезарядке ускоренных ионов в рабочей камере. Атомы металла образуются при распылении ионами мишени на дне полого катода внутри источника. Доп.точки доступа: Григорьев, С. Н.; Волосова, М. А.; Метель, А. С.; Мельник, Ю. А.; Болбуков, В. П. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |