Тарнавский, Г. А. Легирование кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности (возможности вычислительного эксперимента) [Текст] / Г. А. Тарнавский // Справочник. Инженерный журнал. - 2012. - № 4. - С. 23-28 . - ISSN 0203-347X
Рубрики: Машиностроение Общая технология машиностроения Кл.слова (ненормированные): бор -- имплантация -- компьютерное моделирование -- кремний -- легирование -- мышьяк -- наноматериалы -- нанотехнологии -- фосфор Аннотация: Рассмотрены возможности компьютерного моделирования легирования кремниевой пластины со сложным нанорельефом поверхности. Приведены результаты вычислений ионной имплантации примесей (фосфора, бора, мышьяка) в наноколонны кремния. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |