Чернявский, А. В. Измерение диффузионных профилей в ионных кристаллах методом масс-спектрометрии вторичных ионов [Текст] / А. В. Чернявский // Контроль. Диагностика. - 2012. - № 11. - С. 72-74. - Библиогр.: с. 74 (11 назв. ) . - ISSN 0201-7032
Рубрики: Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): диффузионные профили -- измерение диффузионных профилей -- ионные кристаллы -- масс-спектрометрия вторичных ионов -- вторично-ионная масс-спектрометрия -- высокотемпературная диффузия -- диффузия примесей -- примесные ионы -- диффузионный отжиг Аннотация: Приведены результаты исследований высокотемпературной диффузии примесей из пленки в приповерхностных слоях ионных кристаллов. Распределение примесей по глубине после диффузионного отжига кристаллов исследовано методом вторичной ионной масс-спектрометрии. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |