Исследование оптических свойств приповерхностного слоя в кремнии, имплантированном цинком, после термических отжигов [Текст] / В. В. Привезенцев [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 9. - С. 1007-1110. - Библиогр.: c. 1110 (8 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): имплантация цинком -- катодолюминесценция -- комбинационное рассеяние света -- оксидные нанокластеры -- оптические свойства -- термический отжиг -- точечные дефекты -- частичная аморфизация -- эллипсометрия Аннотация: Исследованы изменения в процессе термических отжигов оптических свойств нарушенного в результате имплантации ионами Zn слоя Si. Исследования проводились методами комбинационного рассеяния света (КРС), эллипсометрии и катодолюминесценции (КЛ). В имплантированных образцах образуется нарушенная область с частичной аморфизацией толщиной около 60 нм. Термообработка при 400 град. C приводит к частичному отжигу радиационных точечных дефектов, при этом толщина нарушенного слоя уменьшилась до 40 нм. После высокотемпературного отжига при 700 град. C нарушенный слой полностью восстановился ZnO. Доп.точки доступа: Привезенцев, В. В.; Чукичев, М. В.; Миронов, Р. В.; Кривенков, Ю. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |