Прецизионная изображающая многослойная оптика [Текст] / М. М. Барышева [и др.] // Успехи физических наук. - 2012. - Т. 182, № 7. - С. 727-747 : 16 рис., 6 табл. - Библиогр.: с. 745-747 (126 назв.) . - ISSN 0042-1294
Рубрики: Физика Рентгеновские лучи. Гамма-лучи Физическая оптика Кл.слова (ненормированные): многослойная оптика -- электромагнитные поля -- рентгеновская микроскопия -- ультрафиолетовое излучение -- рентгеновская оптика -- фотолитография -- оптические системы Аннотация: Работа посвящена фундаментальным проблемам изготовления и тестирования, а также применениям в диапазоне длин волн 2-60 нм оптики, обеспечивающей дифракционное качество изображений и востребованной для проекционной литографии, рентгеновской микроскопии, астрофизики и для фундаментальных исследований в области взаимодействия вещества (вакуума) со сверхсильными электромагнитными полями. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |