Гаман, В. И. Физические основы работы сенсоров окислительных газов на основе металлооксидных полупроводников [Текст] / В. И. Гаман> // Известия вузов. Физика. - 2011. - Т. 54, № 12. - С. 58-65. - Библиогр.: c. 65 (6 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электростатика Кл.слова (ненормированные): диоксид азота -- канальная проводимость -- кислород -- металлооксидные полупроводники -- надбарьерная проводимость -- поликристаллические пленки -- сенсоры диоксид азота -- сенсоры кислорода -- сенсоры окислительных газов -- теплота адсорбции -- хемосорбция -- энергия активации десорбции Аннотация: Рассмотрены физические принципы работы сенсоров кислорода и диоксида азота на основе тонких поликристаллических пленок металлооксидных полупроводников. Представлены аналитические выражения, описывающие зависимости проводимости сенсора и его отклика от концентрации окислительного газа, геометрических и физических параметров полупроводниковой пленки. Проведено сопоставление полученных в теории закономерностей с имеющимися результатами экспериментальных исследований. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |