Исследование полупроводниковых слоистых систем фотоники [Текст] / Д. В. Абрамов [и др.] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 6. - С. 698-701 : рис. - Библиогр.: c. 701 (7 назв. ) . - ISSN 0367-6765
УДК
ББК 32
Рубрики: Радиоэлектроника
   Радиоэлектроника в целом

Кл.слова (ненормированные):
геометрические характеристики -- диагностика -- лазерные диоды -- полупроводниковые лазеры -- растровая электронная микроскопия -- сканирующая зондовая микроскопия -- слоистые системы -- спектроскопия комбинационного рассеяния -- фотоника
Аннотация: Проведены экспериментальные исследования структуры полупроводникового лазера на гетероструктурах при помощи комплекса, включающего в себя системы растровой электронной микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния. Показаны возможности микроскопии высокого разрешения для диагностики слоистых систем микроэлектроники.


Доп.точки доступа:
Абрамов, Д. В.; Хорьков, К. С.; Кутровская, С. В.; Номан, М. А. А.; Прокошев, В. Г.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)