Васин, В. А. Контрольно-навигационная система современного сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса [Текст] / В. А. Васин, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков // Контроль. Диагностика. - 2012. - № 5. - С. 71-74. - Библиогр.: с. 74 (7 назв. ) . - ISSN 0201-7032
Рубрики: Радиоэлектроника Искусственный интеллект. Экспертные системы Кл.слова (ненормированные): контрольно-навигационные системы -- сверхвысоковакуумные комплексы -- аналитико-технологические комплексы -- системы координат -- обработка полупроводниковых структур -- полупроводниковые структуры -- l-координатные системы -- абсолютные координаты -- системы обратной связи Аннотация: Рассмотрены устройства для определения положения исполнительных систем оборудования в пространстве, в которых положение и движение определяются непосредственно в абсолютных координатах. Предложена контрольно-навигационная система для сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле. Доп.точки доступа: Ивашов, Е. Н.; Степанчиков, С. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |