Влияние угла наклона плазменного потока углерода к подложке и последующего отжига на внутренние напряжения и структуру углеродных наноразмерных покрытий, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом [Текст] / А. Я. Колпаков [и др.] // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2012. - № 4. - С. 40-45 : 5 рис. - Библиогр.: с. 45 (11 назв. ). - Подстроч. сноски . - ISSN 1813-1336
Рубрики: Машиностроение--Россия Упрочнение металлов Кл.слова (ненормированные): покрытия -- углеродные покрытия -- алмазоподобные углеродные покрытия -- отжиг -- внутренние напряжения -- потоки углерода -- углеродная плазма -- наноразмерные покрытия Аннотация: Исследованы влияния угла наклона плазменного потока углерода к подложке на внутренние напряжения, возникающие в алмазоподобных углеродных покрытиях, а также динамика их изменения в процессе последующего отжига на воздухе. Установлено, что угол наклона плазменного потока углерода к подложке влияет на соотношения углеродных связей в аморфной матрице покрытия. Предложено объяснение полученных результатов, основанное на анализе процессов генерации и миграции радиационных дефектов. Доп.точки доступа: Колпаков, А. Я.; Поплавский, А. И.; Галкина, М. Е.; Суджанская, И. В.; Мерчанский, О. Ю. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |