Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов [Текст] / А. Д. Погребняк [и др.] // Успехи физических наук. - 2012. - Т. 182, № 3. - С. 287-321 : 22 рис., 5 табл. - Библиогр.: с. 319-321 (217 назв.) . - ISSN 0042-1294
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): ионы -- наносистемы -- нанообъекты -- малоразмерные структуры -- нанозонды -- микрозонды -- сверхвысокочастотная микроскопия -- резистивные материалы -- микрозондирование -- 3D-материалы Аннотация: Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твердой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Доп.точки доступа: Погребняк, А. Д.; Пономарев, А. Г.; Шпак, А. П.; Куницкий, Ю. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |