Изучение химического состава плазмы в процессах получения тонких пленок и покрытий с применением спектрометра "Колибри-2" [Текст] / В. Р. Шаяпов [и др. ] // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. - 2012. - Т. 78, № 1: № 1, № 1. - С. 96-98. - Библиогр.: с. 98 (9 назв. ) . - ISSN 1028-6861
Рубрики: Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): химический состав плазмы -- плазма -- получение тонких пленок -- тонкие пленки -- тонкие покрытия -- получение тонких покрытий -- спектрометры -- Колибри-2 (спектрометры) -- плазмохимическое разложение -- микроплазменный синтез -- гексаметилдисилазан -- оксидные покрытия -- сплавы алюминия -- силикатно-щелочные электролиты -- оптическая эмиссионная спектроскопия -- эмиссионная спектроскопия -- плазмохимическое осаждение -- плазма ВЧ-разряда Аннотация: Рассмотрено применение спектрометра "Колибри-2" для изучения химического состава плазмы на примерах плазмохимического разложения гексаметилдисилазана и микроплазменного синтеза оксидного покрытия на сплаве алюминия в силикатно-щелочном электролите. Доп.точки доступа: Шаяпов, В. Р.; Рогов, А. Б.; Румянцев, Ю. М.; Аюпов, Б. М.; Лабусов, В. А.; Зарубин, И. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |