Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении [Текст] / М. М. Барышева [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Т. 76, № 2. - С. 190-195. - Библиогр.: с. 195 (9 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): ионно-пучковое травление -- кристаллический кремний -- многослойная структура Cr/Sc -- многослойные структуры -- плавленый кварц -- сверхгладкие поверхности -- шероховатость поверхности Аннотация: Изучается поведение шероховатости поверхностей многослойной структуры Cr/Sc, кристаллического кремния [100] и плавленого кварца при ионно-пучковом травлении в области средних и высоких частот пространственного спектра (10{-2} - 10{2} мкм{-1}). Показана возможность сохранения шероховатости поверхности на уровне сигма ~ 0. 3 нм при травлении атомами/ионами Ar на глубину до 10 мкм. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Храмков, Р. А.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |