Белозубов, Е. М. Временная стабильность тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2011. - N 11. - С. 45-50. : 2 рис. - Библиогр.: с. 50 (10 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Автоматика и телемеханика Кл.слова (ненормированные): тонкопленочные системы -- наноэлектромеханические системы -- микроэлектромеханические системы -- тензоэлементы -- датчики давления -- временная стабильность Аннотация: Рассмотрена временная стабильность тонкопленочных нано- и микросистем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе, выработаны условия и критерии временной стабильности. Доп.точки доступа: Белозубова, Н. Е.; Васильев, В. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |