Шикова, Т. Г. Исследование характеристик пленок оксида олова, полученных термическим окислением металлических пленок [Текст] / Т. Г. Шикова, И. В. Холодков, Е. Н. Таланов // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 6. - С. 88-92.
Рубрики: Машиностроение Упрочнение металлов Кл.слова (ненормированные): оксиды олова -- термическое окисление -- морфология поверхности -- электрические свойства оксидных слоев -- оптические свойства оксидных слоев -- термическое испарение в вакууме -- магнетронное распыление -- двухступенчатый отжиг -- нестехиометрические оксиды Аннотация: Исследованы электрические и оптические свойства и морфология оксидных слоев SnO, полученных термическим окислением пленок олова, осажденных методами термического испарения в вакууме и магнетронного распыления. Показано, что в результате двухступенчатого отжига на воздухе (200 и 400 градусов Цельсия) прозрачность пленок увеличивается до 70-80%, а их поверхностное сопротивление увеличивается после окисления при температуре 200 градусов Цельсия и уменьшается после повторного отжига при 400 градусов Цельсия. Уменьшение сопротивления связано с образованием нестехиометрического оксида с избытком атомов олова и вакансиями кислорода. Структура пленок зависит от их толщины и режимов отжига. Доп.точки доступа: Холодков, И. В.; Таланов, Е. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |