Орликовский, Н. А. Контраст изображений в режиме детектирования отраженных электронов в сканирующей электронной микроскопии и микротомографии [Текст] / Н. А. Орликовский, Э. И. Рау // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 9. - С. 1305-1311. . - Библиогр.: c. 1311 (20 назв. )
Рубрики: Химия Физико-химические методы анализа Кл.слова (ненормированные): контраст изображений -- микротомография -- отраженные электроны -- пленочные структуры -- полупроводниковые детекторы -- растровые электронные микроскопы -- сканирующая электронная микроскопия Аннотация: Рассмотрены основные закономерности формирования контраста изображений в режиме отраженных электронов для массивных и пленочных структур в растровом электронном микроскопе. Показано существенное влияние параметров полупроводниковых детекторов на характер контраста изображения. Приведен расчет величины контраста в зависимости от состава участков мишени, от энергии первичных электронов, от способа детектирования сигнала. Доп.точки доступа: Рау, Э. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |