Синтез пленок рутила, активируемый фотонной обработкой [Текст] / В. М. Иевлев [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2011. - N 4. - С. 5-10.
Рубрики: Машиностроение Обработка металлов Кл.слова (ненормированные): рутил -- фотонная обработка -- импульсная фотонная обработка -- титан -- оксиды титана -- пленки рутила -- синтез пленок рутила -- обработка на воздухе -- оксидирование пленок Аннотация: Методами ПЭМ, РСА, РЭМ, АСМ и эллипсометрии исследованы фазовый состав, субструктура и морфология поверхности пленок TiO[2], формирующихся в условиях активации процесса роста импульсной фотонной обработкой на воздухе. Показана возможность полного оксидирования пленки Ti толщиной ~0, 5 мкм с образованием однофазной пленки рутила в течение 1, 5 с. Доп.точки доступа: Иевлев, В. М.; Канныкин, С. В.; Кущев, С. Б.; Синельников, А. А.; Солдатенко, С. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |