Влияние материала подложки на свойства пленок оксида тантала [Текст] / В. М. Калыгина [и др. ] // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 12. - С. 83-88. . - Библиогр.: c. 87-88 (10 назв. )
Рубрики: Энергетика Электроизолирующие материалы и изделия Кл.слова (ненормированные): диэлектрическая проницаемость -- диэлектрические слои -- кислородная плазма -- оксид тантала -- пленки оксида тантала -- тангенс угла диэлектрических потерь Аннотация: Исследовано влияние материала подложки на электрические характеристики пленок Ta[x]O[y], полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени, изготовленной из оксида тантала. Установлено влияние кислородной плазмы на токи утечки, величину диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь тонких слоев (300-400 нм) Та[x]O[y]. Предложено использовать обработку пленок оксида тантала в кислородной плазме для управления их электрическими и диэлектрическими характеристиками. Доп.точки доступа: Калыгина, В. М.; Зарубин, А. Н.; Новиков, В. А.; Петрова, Ю. С.; Скакунов, М. С.; Толбанов, О. П.; Тяжев, А. В.; Яскевич, Т. М. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |