Послойный анализ многослойных металлических структур Pd/B[4]C, Ni/C, Cr/Sc методом ВИМС с использованием кластерных вторичных ионов: проблема повышения разрешения по глубине [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 106-110. . - Библиогр.: с. 110 (8 назв. )
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): вторично-ионная масс-спектрометрия -- интерференционные микроскопы -- матричные эффекты -- металлические пленки -- многослойные структуры -- электронная оже-спектроскопия -- элементный состав Аннотация: Исследуется возможность минимизации матричных эффектов при послойном анализе многослойных металлических структур методом ВИМС, основанная на использовании кластерных вторичных ионов, включающих комбинацию анализируемого элемента и распыляющих ионов цезия либо кислорода. Доп.точки доступа: Дроздов, М. Н.; Дроздов, Ю. Н.; Барышева, М. М.; Полковников, В. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |