Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона [Текст] / М. Н. Дроздов [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 77-79. . - Библиогр.: с. 79 (3 назв. )
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): вторично-ионная масс-спектрометрия -- многослойные структуры -- молибден -- оптические системы -- свободно висящие фильтры -- термически стойкие фильтры -- фильтры Аннотация: Предложены новые многослойные структуры на основе молибдена и изготовлены образцы свободновисящих фильтров диаметром 160 мм с прозрачностью 71% на длине волны лямбда=13. 5 нм. Доп.точки доступа: Дроздов, М. Н.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И.; Шмаенок, Л. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |