Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлексометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии [Текст] / М. М. Барышева [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 71-76. . - Библиогр.: с. 76 (13 назв. )
Рубрики: Физика Общие вопросы физики Кл.слова (ненормированные): атомно-силовая микроскопия -- многослойная рентгеновская оптика -- оптические интерференционные микроскопы -- рассеяние излучения -- рентгеновская рефлексометрия -- сверхгладкие подложки -- шероховатость поверхности Аннотация: Применительно к изучению супергладких подложек для многослойной рентгеновской оптики анализируются возможности стандартных методов исследования шероховатых поверхностей. Доп.точки доступа: Барышева, М. М.; Вайнер, Ю. А.; Грибков, Б. А.; Зорина, М. В.; Пестов, А. Е.; Рогачев, Д. Н.; Салащенко, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |