Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики [Текст] / С. Ю. Зуев [и др. ] // Известия РАН. Серия физическая. - 2011. - Т. 75, N 1. - С. 57-60. : рис. - Библиогр.: с. 60 (7 назв. )
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура оптики Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): интерферометры -- ионное травление -- магнетронное напыление -- методы коррекции формы -- многослойные структуры -- оптические элементы -- перецизионная изображающая техника -- технологические линии Аннотация: Описан комплексный подход к решению проблемы создания сверхгладких оптических поверхностей с субнанометровой точностью формы. Доп.точки доступа: Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Пестов, А. Е.; Полковников, В. Н.; Салащенко, Н. Н.; Суслов, Л. А.; Торопов, М. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |