Мельников, А. А. Анализ коэффициента сборки низковольтного РЭМ [Текст] / А. А. Мельников, О. Д. Потапкин // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 7. - С. 1052-1055. : Рис. - Библиогр.: c. 1055 (9 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): вторичные траектории -- вторичные электроны -- движение электронов -- детекторы Эверхарта-Торнли -- низковольтные РЭМ -- отраженные электроны -- растровые электронные микроскопы -- Эверхарта-Торнли детекторы -- электростатические детекторы Аннотация: Проводится анализ сбора электронов полем электростатических детекторов, расположенных над объективной линзой низковольтного РЭМ. Ускоряющее первичный пучок поле над объективной линзой является полем электростатического зеркала для вторичных и отраженных электронов. Анализируются вопросы движения вторичных и отраженных электронов. Доп.точки доступа: Потапкин, О. Д. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |