Казьмирук, В. В. Погрешности измерений линейных размеров структур при регистрации обратно рассеянных электронов в РЭМ [Текст] / В. В. Казьмирук, Т. Н. Савицкая // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 7. - С. 1029-1031. . - Библиогр.: c. 1031 (3 назв. )
Рубрики: Радиоэлектроника Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): безэталонные методы измерений -- интенсивность сигнала ОРЭ -- моделирование сигнала ОРЭ -- обратно рассеянные электроны -- погрешности измерений -- растровая электронная микроскопия -- энергия Аннотация: Рассматривается вопрос определения ширины элементов и локализации края структур нанометрового диапазона по интенсивности сигнала обратно рассеянных электронов (ОРЭ) при применении безэталонных методов измерений. Доп.точки доступа: Савицкая, Т. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |