Данилина, Т. И. Электрофизические свойства диэлектрических пленок в МДМ-структурах [Текст] / Т. И. Данилина, П. Е. Троян> // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 4. - С. 8-11. . - Библиогр.: c. 11 (5 назв. )
Рубрики: Физика Физика полупроводников и диэлектриков Кл.слова (ненормированные): диэлектрические пленки -- пеннинговский разряд -- пленки алюминия -- скорость осаждения -- скорость травления -- электрические параметры Аннотация: Методами реактивного катодного распыления в устройстве на основе низковольтного пеннинговского разряда получены диэлектрические пленки окиси и нитрида кремния, нитрида алюминия и другие. Изучены параметры пленок в МДМ-структурах, оптические свойства, пористость в зависимости от скорости осаждения, температуры подложки и давления реактивного газа. Наибольшую электрическую прочность имели пленки нитрида кремния, а наименьшие потери - пленки двуокиси кремния. Доп.точки доступа: Троян, П. Е. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |