Князева, А. Г.
    Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления [Текст] / А. Г. Князева, С. А. Шанин // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 1. - С. 76-81. . - Библиогр.: c. 81 (8 назв. )
УДК
ББК 22.338
Рубрики: Физика
   Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях

Кл.слова (ненормированные):
магнетронное напыление -- математическое моделирование -- модификация поверхности твердых тел -- растущее покрытие
Аннотация: Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.


Доп.точки доступа:
Шанин, С. А.

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)