Князева, А. Г. Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления [Текст] / А. Г. Князева, С. А. Шанин> // Известия вузов. Физика. - 2010. - Т. 53, N 1. - С. 76-81. . - Библиогр.: c. 81 (8 назв. )
Рубрики: Физика Движение заряженных частиц в электрических и магнитных полях Кл.слова (ненормированные): магнетронное напыление -- математическое моделирование -- модификация поверхности твердых тел -- растущее покрытие Аннотация: Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. Доп.точки доступа: Шанин, С. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |