Характеристики титановых покрытий, осажденных с помощью мощных ионных пучков [Текст] / В. К. Струц [и др. ] // Физика и химия обработки материалов. - 2010. - N 4. - С. 66-71.
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): мощные ионные пучки -- абляционная плазма -- титановые покрытия -- адгезия -- нанотвердость -- коэффициенты трения -- модуль Юнга -- Юнга модуль Аннотация: Методом осаждения из абляционной плазмы, создаваемой при импульсном воздействии мощных ионных пучков на Ti мишень, получены Ti покрытия на Si подложке. Изучена зависимость адгезии, нанотвердости, модуля Юнга и коэффициента трения тонкопленочных Ti покрытий от расстояния между распыляемой мишенью и подложкой и толщины покрытия. Показано, что создание переходного слоя с переменным содержанием Ti повышает адгезию покрытия. Доп.точки доступа: Струц, В. К.; Матвиенко, В. М.; Петров, А. В.; Рябчиков, А. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |