Барышев, А. В. (Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова).
    Новая математическая модель анализа малозаметных дефектов подложки [Текст] / А. В. Барышев, Ю. А. Еремин // Математическое моделирование. - 2010. - Т. 22, N 5. - С. 122-130 : 6 рис. - Библиогр.: с. 122-130 . - ISSN 0234-0879
УДК
ББК 22.19 + 22.19
Рубрики: Математика
   Вычислительная математика

Кл.слова (ненормированные):
подложка -- дефекты подложки -- математическое моделирование -- задача рассеяния трехмерная
Аннотация: Предложена новая модель анализа таких малозаметных дефектов подложки, как пологие полости и выпуклости в подложке. Приведено исследование и получены результаты применения модели для случая трехмерной задачи рассеяния на различных дефектах подложки.


Доп.точки доступа:
Еремин, Ю. А. (Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1)
Свободны: ч.з. (1)