Швец, В. А. Анализ оптически неоднородных слоев методом in situ эллипсометрии [Текст] / В. А. Швец // Оптика и спектроскопия. - 2010. - Т. 108, № 3. - С. 1042-1048. - Библиогр.: с. 1048 (11 назв. ) . - ISSN 0030-4034
Рубрики: Физика Физическая оптика Кл.слова (ненормированные): эллипсометрические измерения -- эллипсометрические параметры -- численное моделирование -- эллипсометрия -- поляризованный свет -- оптически неоднородные слои Аннотация: Рассмотрена задача анализа и обработки данных in situ эллипсометрических измерений, полученных при выращивании слоев на оптически неоднородных и многослойных структурах. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |