Исследование оптических свойств пленок германия в средней ИК области спектра [Текст] / Е. Н. Котликов [и др. ] // Оптика и спектроскопия. - 2010. - Т. 108, № 3. - С. 1003-1006. - Библиогр.: с. 1006 (12 назв. ) . - ISSN 0030-4034
Рубрики: Физика Оптика в целом Спектроскопия Кл.слова (ненормированные): пленки германия -- германий -- кремний -- температура -- тонкие пленки -- оптические константы -- пленки германия -- оптические свойства Аннотация: Приведены результаты исследований оптических свойств пленок германия, легированных кремнием. Показано, что минимальными оптическими потерями обладают пленки германия с содержанием 1. 5% весовых частей кремния. Измерены оптические константы пленок германия при различных температурах подложек. Определены оптимальные условия формирования пленок с минимальными потерями. Доп.точки доступа: Котликов, Е. Н.; Прокашев, В. Н.; Иванов, В. А.; Тропин, А. Н. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |