Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов [Текст] / Б. А. Володин [и др. ]> // Известия РАН. Серия физическая. - 2010. - Т. 74, N 1. - С. 53-57 : Рис. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0367-6765
Рубрики: Машиностроение Соединения деталей машин Кл.слова (ненормированные): металлические пленки -- многослойные тонкопленочные фильтры -- мягкий рентгеновский диапазон -- оптические свойства -- проекционная ЭУФ-литография -- прозрачность -- тонкопленочные фильтры -- ультратонкие фильтры -- фильтры -- экстремальный ультрафиолетовый диапазон Аннотация: Разработаны многослойные тонкопленочные фильтры из различных пар материалов, имеющие окна прозрачности в диапазоне длин волн лямбда < 60 нм. Доп.точки доступа: Володин, Б. А.; Гусев, С. А.; Дроздов, М. Н.; Зуев, С. Ю.; Клюенков, Е. Б.; Лопатин, А. Я.; Лучин, В. И.; Пестов, А. Е.; Салащенко, Н. Н.; Цыбин, Н. Н.; Чхало, Н. И. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |