Швец, В. А. О точности эллипсометрического контроля при выращивании полупроводниковых наноструктур [Текст] / В. А. Швец // Оптика и спектроскопия. - 2009. - Т. 107, N 5. - С. 822-825. - Библиогр.: с. 825 (11 назв. ) . - ISSN 0030-4034
Рубрики: Физика Физическая оптика Кл.слова (ненормированные): многослойные структуры -- эллипсометрия -- оптические константы -- коэффициенты отражения -- показатели преломления -- наноструктуры -- кадмий -- ртуть -- теллур Аннотация: Проведен анализ точности определения параметров многослойных структур при их эллипсометрическом контроле in situ. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |