Микроструктура и оптические свойства тонких пленок оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления цинковой мишени [Текст] / О. В. Гончарова [и др. ]> // Физика и химия обработки материалов. - 2009. - N 6. - С. 20-25 . - ISSN 0015-3214
Рубрики: Физика Экспериментальные методы и аппаратура ядерной физики Оптические свойства твердых тел Кл.слова (ненормированные): мишени -- цинковые мишени -- тонкие пленки -- магнетронное распыление -- оксид цинка -- высокопрозрачные пленки -- атомно-силовая микроскопия -- рентгеновский дифракционный анализ -- полупроводниковые микрокристаллы -- тонкопленочные матрицы -- реактивное магнетронное распыление -- кристаллические структуры -- аморфные подложки -- высокоупорядоченные кристаллические структуры -- солнечные элементы -- текстурированные лицевые поверхности Аннотация: С целью разработки методов изготовления высокопрозрачных пленок оксида цинка с контролируемой величиной удельного сопротивления изучены их микроструктурные и спектральные свойства. Доп.точки доступа: Гончарова, О. В.; Леонова, Т. Р.; Гременок, В. Ф.; Болодон, В. Н.; Дымонт, В. П.; Ташлыков, И. С. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |