Балдина, Н. А. Моделирование возникновения аномальной поперечной неоднородности распределения примеси в космических экспериментах по выращиванию кристаллов [Текст] / Н. А. Балдина, Б. В. Васекин, В. А. Гончаров // Математическое моделирование. - 2009. - Т. 21, N 10. - С. 67-75. : 5 рис. - Библиогр.: с. 74 (17 назв. )
Рубрики: Физика Математическая физика Кл.слова (ненормированные): выращивание полупроводниковых кристаллов -- полупроводниковые кристаллы -- поперечная неоднородность -- распределение примеси Аннотация: Условия известного космического эксперимента по выращиванию полупроводниковых кристаллов моделируются на основе решения нестационарной задачи Стефана. Исследуется влияние скорости выращивания кристалла на величину поперечной неоднородности распределения примеси. Получено количественное соответствие результатов численных расчетов и экспериментальных данных. Доп.точки доступа: Васекин, Б. В.; Гончаров, В. А. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |