Гриценко, В. А. Структура границ раздела кремний/оксид и нитрид/оксид [Текст] / В. А. Гриценко> // Успехи физических наук. - 2009. - Т. 179, N 9. - С. 921-930. : 20 рис. - Библиогр.: с. 930 (43 назв. )
Рубрики: Физика Физика твердого тела. Кристаллография в целом Кл.слова (ненормированные): атомное строение -- диэлектрики -- свойства границ -- границы раздела -- кремниевая микроэлектроника -- электрические поля -- кремниевые приборы Аннотация: В настоящем обзоре систематизированы и обобщены современные представления об атомном строении границ раздела кремний/диэлектрик и диэлектрик/диэлектрик в структурах, которые являются основой кремниевых приборов. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |