Азарова, В. В. Об эллипсометрии прецизионных оптических поверхностей и зеркальных покрытий [Текст] / В. В. Азарова, Н. М. Соловьева, В. В. Фокин // Оптика и спектроскопия. - 2009. - Т. 107, N 2. - С. 196-200. . - Библиогр.: с. 200 (2 назв. )
Рубрики: Физика Оптика в целом Кл.слова (ненормированные): элипсометрические методы -- оптические поверхности -- монохроматический свет -- ионно-лучевые напыления -- профилометрические методы Аннотация: Проанализированы результаты эллипсометрических измерений однородности нанометровых толщин пленок, нанесенных методом ионно-лучевого напыления. Доп.точки доступа: Соловьева, Н. М.; Фокин, В. В. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |