Берлин, Е. Нанесение толстых диэлектрических покрытий в вакууме [Текст]. Ч. 2. Технология и оборудование / Е. Берлин, Л. Сейдман // Электроника: наука, технология, бизнес. - 2009. - N 4. - С. 70-76. . - Библиогр.: с. 76 (2 назв. )
Рубрики: Приборостроение Технология приборостроения Кл.слова (ненормированные): покрытия -- диэлектрические покрытия -- вакуумное напыление -- Caroline D 12 B1 -- вакуумные установки -- газовые установки -- источники напряжения -- магнетронные источники напыления -- биополярное импульсное распыление Аннотация: Описана установка вакуумного напыления Caroline D 12 B1, предназначенная для нанесения различных покрытий на металлические изделия. Доп.точки доступа: Сейдман, Л. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : эн.ф. (заказ статей по ЭДД) (1) Свободны: эн.ф. (заказ статей по ЭДД) (1) |