Лебедев, М. С. Оптические свойства многослойных структур [Текст] / М. С. Лебедев, Б. М. Аюпов, Т. П. Смирнова // Оптика и спектроскопия. - 2009. - Т. 106, N 1. - С. 146-148. : ил. - Библиогр.: с. 148 (5 назв. )
Рубрики: Физика Оптика в целом Кл.слова (ненормированные): многослойные структуры -- оптические свойства структур -- методы эллипсометрии -- многослойные пленки -- монохроматическая нулевая эллипсометрия Аннотация: Показана возможность применения метода эллипсометрии для исследования оптических свойств многослойных пленок и структур. Доп.точки доступа: Аюпов, Б. М.; Смирнова, Т. П. Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ч.з. (1) Свободны: ч.з. (1) |